• page_head_bg

Puhdas ja kestävä PEEK tekee jälkensä puolijohteissa

COVID-19-pandemian jatkuessa ja sirujen kysynnän kasvaessa jatkuvasti viestintälaitteista kulutuselektroniikkaan ja autoihin, sirujen maailmanlaajuinen pula voimistuu.

Siru on tärkeä perusosa tietotekniikkateollisuutta, mutta myös avaintoimiala, joka vaikuttaa koko korkean teknologian alaan.

puolijohteet 1

Yhden sirun valmistaminen on monimutkainen prosessi, joka sisältää tuhansia vaiheita, ja jokainen prosessin vaihe on täynnä vaikeuksia, mukaan lukien äärimmäiset lämpötilat, altistuminen erittäin invasiivisille kemikaaleille ja äärimmäiset puhtausvaatimukset. Muoveilla on tärkeä rooli puolijohteiden valmistusprosessissa, antistaattiset muovit, PP, ABS, PC, PPS, fluorimateriaalit, PEEK ja muut muovit ovat laajalti käytössä puolijohteiden valmistusprosessissa. Tänään tarkastellaan joitain PEEKin puolijohteiden sovelluksia.

Kemiallinen mekaaninen hionta (CMP) on tärkeä vaihe puolijohteiden valmistusprosessissa, joka vaatii tiukkaa prosessin valvontaa, pinnan muodon tiukkaa säätelyä ja korkealaatuista pintaa. Miniatyrisoinnin kehitystrendi asettaa edelleen korkeampia vaatimuksia prosessin suorituskyvylle, joten kiinteän CMP-renkaan suorituskykyvaatimukset ovat yhä korkeammat.

puolijohteet 2

CMP-rengasta käytetään pitämään kiekko paikoillaan jauhatusprosessin aikana. Valitun materiaalin tulee välttää naarmuja ja kontaminaatiota kiekon pinnalla. Se on yleensä valmistettu tavallisesta PPS:stä.

puolijohteet 3

PEEK:llä on korkea mittapysyvyys, helppo käsitellä, hyvät mekaaniset ominaisuudet, kemiallinen kestävyys ja hyvä kulutuskestävyys. PPS-renkaaseen verrattuna THE CMP-kiinteällä PEEK-renkaalla on parempi kulutuskestävyys ja kaksinkertainen käyttöikä, mikä vähentää seisokkeja ja parantaa kiekkojen tuottavuutta.

Kiekkojen valmistus on monimutkainen ja vaativa prosessi, joka vaatii ajoneuvojen käyttöä kiekkojen suojaamiseen, kuljetukseen ja varastointiin, kuten eteen avoimiin kiekkojen siirtolaatikoihin (FOUP) ja kiekkokoriin. Puolijohdekantajat jaetaan yleisiin siirtoprosesseihin sekä happo- ja emäsprosesseihin. Lämmitys- ja jäähdytysprosessien sekä kemiallisten käsittelyprosessien aikana tapahtuvat lämpötilan muutokset voivat aiheuttaa muutoksia kiekkojen alustan kokoon, mikä johtaa sirun naarmuuntumiseen tai halkeiluihin.

PEEK:stä voidaan valmistaa ajoneuvoja yleisiin voimansiirtoprosesseihin. Antistaattinen PEEK (PEEK ESD) on yleisesti käytössä. PEEK ESD:llä on monia erinomaisia ​​ominaisuuksia, kuten kulutuskestävyys, kemiallinen kestävyys, mittapysyvyys, antistaattinen ominaisuus ja alhainen kaasunpäästö, jotka auttavat estämään hiukkaskontaminaation ja parantavat kiekkojen käsittelyn, varastoinnin ja siirron luotettavuutta. Paranna edessä avoimen kiekkojen siirtolaatikon (FOUP) ja kukkakorin suorituskyvyn vakautta.

Holistinen maskilaatikko

Graafisessa maskissa käytettävä litografiaprosessi on pidettävä puhtaana, kiinnitettävä valopeitteeseen mahdolliset pölyt tai naarmut projisointikuvauksen laadun heikkenemisestä, joten maskin valmistus-, käsittely-, kuljetus-, kuljetus-, varastointiprosessissa on vältettävä maskin saastumista ja törmäyksestä ja kitkamaskin puhtaudesta johtuva hiukkasisku. Kun puolijohdeteollisuus alkaa ottaa käyttöön äärimmäisen ultraviolettivalon (EUV) varjostustekniikkaa, vaatimus pitää EUV-naamarit virheettöminä on korkeampi kuin koskaan.

puolijohteet 4

PEEK ESD-purkaus, jolla on korkea kovuus, pienet hiukkaset, korkea puhtaus, antistaattinen, kemiallinen korroosionkestävyys, kulutuskestävyys, hydrolyysinkestävyys, erinomainen dielektrinen lujuus ja erinomainen säteilyn kestävyys, tuotanto-, siirto- ja käsittelyprosessissa maski voi tehdä maskiarkki, jota on säilytetty ympäristön alhaisessa kaasunpoistossa ja vähäisessä ionipitoisuudessa.

Siru testi

PEEK:llä on erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys, mittapysyvyys, alhainen kaasun vapautuminen, vähäinen hiukkasten irtoaminen, kemiallinen korroosionkestävyys ja helppo työstö, ja sitä voidaan käyttää sirujen testaukseen, mukaan lukien korkean lämpötilan matriisilevyt, testiraot, taipuisat piirilevyt, esipolttotestisäiliöt , ja liittimet.

puolijohteet 5

Lisäksi, kun ympäristötietoisuus energiansäästöstä, päästöjen vähentämisestä ja muovisaasteiden vähentämisestä lisääntyy, puolijohdeteollisuus kannattaa vihreää valmistusta, etenkin sirumarkkinoiden kysyntä on vahva, ja sirutuotantoon tarvitaan kiekkolaatikoiden ja muiden komponenttien kysyntä on valtava. vaikutusta ei voi aliarvioida.

Siksi puolijohdeteollisuus puhdistaa ja kierrättää kiekkolaatikoita resurssien tuhlauksen vähentämiseksi.

PEEK:n suorituskykyhäviö on minimaalinen toistuvan kuumennuksen jälkeen, ja se on 100 % kierrätettävä.


Postitusaika: 19.10.21